XNYGF-III K

　　真空測(cè)量控制儀

　　使 用 說(shuō) 明 書

　　OPERATION INSTRUCTION

　　成都興南儀真空設(shè)備有限公司

　　CHENGDU XINGNANYI VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD

　　地址：四川成都溫江區(qū)蓉臺(tái)大道南段540號(hào)

　　電話：(86)028-85834909

　　網(wǎng)址：http:// /www.941t.cn

　　一、概述

　　1、性能簡(jiǎn)介

　　XNYGF-IIIK真空測(cè)量控制儀是采用微處理器技術(shù)和大規(guī)模集成電路CPLD相結(jié)合的真空測(cè)量和壓強(qiáng)控制智能儀器，具有自動(dòng)化、穩(wěn)定、******性、強(qiáng)抗干擾能力等特性。儀器一經(jīng)啟動(dòng)，無(wú)需值守，能長(zhǎng)期工作，對(duì)粗低真空(105～10-1Pa)和高真空(10～10-6Pa)連續(xù)測(cè)量并進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，是真空設(shè)備上常用的真空測(cè)量?jī)x器。根據(jù)測(cè)量需要可選配：

　　n ZJ-27抗氧化型電離真空傳感器(簡(jiǎn)稱規(guī)管)，測(cè)量范圍為10～10-6Pa

　　n ZJ-10型電離規(guī)管，測(cè)量范圍為65～3×10-5Pa

　　n ZJ-12型電離規(guī)管，測(cè)量范圍為10-1～3×10-8Pa

　　n ZJ-14型電離規(guī)管，測(cè)量范圍為10-1～10-7Pa

　　n ZJ-52T型電阻規(guī)，雙路或單路，測(cè)量范圍為105～10-1Pa

　　n ZJ-54D型熱偶規(guī)，雙路或單路，測(cè)量范圍為103～10-1Pa

　　n ZJ-1P型壓阻規(guī)，雙路或單路，測(cè)量范圍為105～102Pa

　　n 壓強(qiáng)控制插件板：對(duì)真空度控制在設(shè)定的壓強(qiáng)范圍內(nèi)工作。

　　n 模擬輸出板：電壓輸出或電流輸出

　　n RS232通訊接口

　　2、自動(dòng)測(cè)量

　　儀器開機(jī)后自動(dòng)進(jìn)入測(cè)量狀態(tài)，儀器在“自動(dòng)”測(cè)量狀態(tài)，自動(dòng)開啟及關(guān)閉電離計(jì)，自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程及發(fā)射電流，對(duì)真空系統(tǒng)可進(jìn)行連續(xù)測(cè)量及控制，并具有自動(dòng)保護(hù)。測(cè)量范圍是：105～10 -6Pa。

　　3、控制功能

　　六路控制繼電器輸出，在真空過(guò)程中可進(jìn)行定點(diǎn)或區(qū)域控制。每路控制均可任意設(shè)定由電阻計(jì)或電離計(jì)控制輸出。每路控制點(diǎn)在開機(jī)后任何時(shí)候可進(jìn)行上限、下限任意設(shè)定及查看，設(shè)定點(diǎn)具有掉電保護(hù)，記憶功能。

　　4、測(cè)量精度

　　儀器采用了微處理器技術(shù)，在粗低真空和高真空測(cè)量時(shí)自動(dòng)對(duì)非線性和發(fā)射電流變化進(jìn)行修正，因此測(cè)量精度高。

　　5、規(guī)管壽命

　　ZJ-27型電離規(guī)陰極采用抗氧化銥絲，規(guī)管壽命長(zhǎng)，瞬時(shí)暴露大氣，不會(huì)造成損壞。

　　6、人機(jī)界面

　　采用三路三顯，每路真空測(cè)量值均實(shí)時(shí)顯示，直觀快捷。

　　薄膜面板和微動(dòng)按鈕相結(jié)合，操作簡(jiǎn)單，美觀大方。

　　7、外部控制

　　通過(guò)儀器背面的外控接頭，在需要時(shí)可a)由外部控制信號(hào)關(guān)閉電離計(jì)測(cè)量;b)由外部控制信號(hào)開啟壓強(qiáng)控制。儀器使用更方便。

　　二、工作原理

　　儀器由測(cè)量部分、控制部分和規(guī)管組成。

　　1、電離計(jì)工作原理

　　當(dāng)電離規(guī)管燈絲加熱發(fā)射電子，電子在比陰極電位更高的加速極作用下，與氣體分子碰撞而使氣體電離，電離后的正離子被比陰極電位更負(fù)的收集極吸收，經(jīng)電流放大器放大后，通過(guò)微處理器修正處理，送顯示器顯示(右邊電離顯示窗口)。

　　在特定的測(cè)量范圍內(nèi)，離子流與被測(cè)壓強(qiáng)成正比，即：I+=S×Ie×P

　　式中：I+為離子流，S為規(guī)管靈敏度，Ie為發(fā)射電流，P為規(guī)管內(nèi)部壓強(qiáng)。

　　電源部分是提供測(cè)量電路和規(guī)管工作時(shí)所需的各種直流電壓以及穩(wěn)發(fā)射電流等。

　　控制部分采用微處理器，由離子流放大輸入A/D產(chǎn)生的數(shù)字信號(hào)，通過(guò)微處理器進(jìn)行誤差修正，送顯示器顯示真空度或發(fā)射電流。

　　2、電阻計(jì)的工作原理

　　ZJ-52T型電阻規(guī)在真空系統(tǒng)低壓強(qiáng)時(shí)，利用氣體分子的熱傳導(dǎo)，在高壓強(qiáng)時(shí)，利用氣體分子的對(duì)流傳熱特性，使得電阻規(guī)的電阻隨所測(cè)系統(tǒng)的壓強(qiáng)變化而變化。電阻規(guī)的電阻與壓強(qiáng)的變化是一種非線性關(guān)系，因此本機(jī)采用微處理器對(duì)此非線性進(jìn)行誤差修正，從而提高測(cè)量精度。

　　由壓強(qiáng)變化所引起的電阻規(guī)電阻值的變化，從測(cè)量橋路輸出電壓信號(hào)，由放大器放大，經(jīng)A/D轉(zhuǎn)換送入微處理器進(jìn)行非線性處理運(yùn)算，***后送顯示器顯示。

　　3、壓強(qiáng)調(diào)節(jié)工作原理

　　儀器利用比例電磁閥實(shí)現(xiàn)充氣量大小的自動(dòng)控制，根據(jù)當(dāng)前的壓強(qiáng)來(lái)調(diào)節(jié)電磁閥開度，控制的目的保持壓強(qiáng)在用戶所需值恒定。

　　比例電磁閥是利用通電線圈的磁場(chǎng)強(qiáng)度使經(jīng)過(guò)特別處理的鐵磁物質(zhì)磁化產(chǎn)生磁場(chǎng)，磁場(chǎng)力克服彈簧力使閥芯開啟。某一線圈電流都能達(dá)到彈簧力和電磁力的平衡。線圈電流和電磁力的大小決定了閥芯的行程或閥門的開度，因此線圈電流或電壓與閥門開度具有一定線性關(guān)系。

　　儀器進(jìn)入控制過(guò)程后，測(cè)量?jī)x將實(shí)時(shí)真空測(cè)量值與所需壓強(qiáng)控制值比較，其差值信號(hào)經(jīng)放大、積分(PID)后驅(qū)動(dòng)比例電磁閥的不同開度，使得比例電磁閥輸出不同的流量。不同的真空設(shè)備通過(guò)設(shè)定響應(yīng)速度參數(shù)值，自動(dòng)調(diào)節(jié)進(jìn)氣速度，可在相當(dāng)短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡的真空度。

　　電磁閥為精密結(jié)構(gòu)，屬電磁執(zhí)行機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)閥門。應(yīng)避免大的振動(dòng)和平行于閥桿的強(qiáng)磁場(chǎng)，以免影響閥的整體性能。

　　在彈簧力作用下使比例閥未通電時(shí)緊閉，一般不宜做截止閥用。為獲得寬范圍的比例特性，電磁閥初始彈簧力不能太大，因此有相對(duì)較小的漏率，為確保真空系統(tǒng)獲得更高的真空應(yīng)在電磁閥與真空系統(tǒng)之間安裝截止閥。

　　采用PWM脈沖信號(hào)驅(qū)動(dòng)電磁閥，有效克服了比例電磁閥的滯后和粘滑作用。

　　本閥入口氣體壓力須降壓后送入，使用氣體須經(jīng)過(guò)凈化無(wú)塵，一般為0.1~0.2Mpa。

　　三、主要技術(shù)指標(biāo)

　　1、使用條件

　　環(huán)境溫度：0～40℃

　　空氣相對(duì)濕度：≤85%

　　工作電量：220V±10% 50~60Hz

　　功耗：約40W

　　2、各電參數(shù)

　　(1)配用規(guī)管型號(hào)：ZJ-27電離規(guī)

　　規(guī)管加速極對(duì)地電位：225V±3%

　　規(guī)管陰極對(duì)地電位：25V±10%

　　發(fā)射電流：100uA±3%;1mA±3%

　　放大器滿度誤差：≤5%±1個(gè)字

　　除氣方式：焦耳去氣

　　(2)電阻規(guī)管：ZJ-52T

　　阻值：約84Ω

　　3、顯示方式

　　三個(gè)顯示窗口，每個(gè)窗口5位數(shù)字顯示。

　　例：3.9E-1，表示為3.9×10-1Pa，“E”為底數(shù)10的數(shù)學(xué)表示法。

　　在壓強(qiáng)控制時(shí)，左窗口顯示壓強(qiáng)控制的設(shè)定參數(shù)，右窗口顯示實(shí)測(cè)真空度。

　　4、其它功能

　　自動(dòng)保護(hù)(電離)>10Pa

　　控制點(diǎn)負(fù)載 AC220V/3A DC28V /10A

　　ZJ-27型電離規(guī)管 測(cè)量范圍10～10-6Pa(10-6Pa僅作參考)

　　ZJ-52T型電阻規(guī)管 測(cè)量范圍105～10-1Pa

　　壓強(qiáng)有效控制范圍1×100～1×10-1Pa(抽速穩(wěn)定)

　　1×10-1～1×10-3Pa

　　壓強(qiáng)控制******度 ±2% ±1個(gè)字

　　電離外部控制

　　壓控外部控制

　　5、整機(jī)尺寸和重量

　　整機(jī)尺寸：480×88×285 mm(寬×高×深)

　　開孔尺寸：440×88 mm

　　重量：約6.5Kg

　　6、RS232通訊口(可選配RS485)

　　波特率可選9600bit/s～115200 bit/s

　　通訊數(shù)據(jù)格式可選8N1、8E1、8O1

　　協(xié)議可選XingNanYi(興南儀)、ModbusRTU

　　四、使用方法

　　(一)電阻計(jì)單元操作

　　1、將電阻規(guī)(玻璃電阻規(guī)開封或金屬電阻規(guī))與系統(tǒng)妥善密封連接，將儀器電纜與規(guī)管連接。

　　2、接通電源，窗口顯示“0.0000”，約5秒后規(guī)1和規(guī)2的測(cè)量值分別顯示在左邊的上下兩個(gè)窗口。

　　3、“大氣”、“0.1Pa”校準(zhǔn)

　　電阻規(guī)在制造材料、工藝、裝配等方面的因素，不同電阻規(guī)的性能有差異。因此，在使用新的電阻規(guī)時(shí)需對(duì)該電阻規(guī)的性能連同儀器進(jìn)行“大氣”和“0.1Pa”的校準(zhǔn)，以降低測(cè)量誤差。

　　儀器提供自動(dòng)校準(zhǔn)和手動(dòng)校準(zhǔn)兩種模式。

　　◆ “0.1Pa”自動(dòng)校準(zhǔn)

　　首先校準(zhǔn)“0.1Pa”。在完成1、2后，對(duì)被測(cè)真空系統(tǒng)抽真空，由電離規(guī)確定被測(cè)真空度高于1.0E-1(如9.9E-2)。此時(shí)電阻規(guī)可以校準(zhǔn)“0.1Pa”

　　電阻規(guī)1校準(zhǔn)：按住“-1Pa”按鈕不放，電阻規(guī)G1顯示窗的字符“ e”快速閃爍，持續(xù)按住按鈕5秒后，電阻規(guī)G1顯示窗口開始顯示規(guī)1校正值，表示自動(dòng)校準(zhǔn)開始，這時(shí)可以松開按鈕。本次校正結(jié)束時(shí)該窗口顯示數(shù)值為8～3之間。 3秒后G1顯示窗的字符“ e”停止閃爍并自動(dòng)轉(zhuǎn)入測(cè)量狀態(tài)，窗口顯示“1.0e-1”，表示規(guī)1的“0.1Pa”已被校準(zhǔn)。

　　電阻規(guī)2校準(zhǔn)：按下“-1Pa”按鈕，電阻規(guī)G1顯示窗的字符“ e”快速閃爍，松開并再次按住該按鈕不放，此時(shí)G2顯示窗的字符“ e”快速閃爍5秒后，G2顯示窗口開始顯示規(guī)2校正值，校正完畢3秒后自動(dòng)轉(zhuǎn)入測(cè)量狀態(tài)并顯示“1.0e-1”，表示規(guī)2的“0.1Pa”已被校準(zhǔn)。

　　◆“大氣”自動(dòng)校準(zhǔn)

　　校完“0.1Pa”后，需對(duì)其“大氣”校準(zhǔn)。按測(cè)試系統(tǒng)的工藝要求，對(duì)系統(tǒng)放入大氣，確保被校電阻規(guī)所測(cè)位置為大氣狀態(tài)，在大氣壓下工作約10分鐘。同校“0.1Pa”方法相似，按“大氣”按鈕，進(jìn)行選擇所需校準(zhǔn)的電阻規(guī)。選擇的所需規(guī)管相應(yīng)顯示窗口中的字符“ e”快速閃爍，持續(xù)按住5秒，5秒后開始滿度自動(dòng)校準(zhǔn)。校正完畢后窗口顯示數(shù)值為9992～9988左右，校準(zhǔn)完后3秒自動(dòng)進(jìn)入正常測(cè)量，儀器顯示“1.0e 5”或“hhe 5”(大氣狀態(tài))。

　　◆“0.1Pa”手動(dòng)校準(zhǔn)

　　在完成1、2后，對(duì)被測(cè)真空系統(tǒng)抽真空，由電離規(guī)確定被測(cè)真空度高于1.0E-1(如9.9E-2)。此時(shí)電阻規(guī)可以校“0.1Pa”。

　　“-1Pa”按鈕，重復(fù)按鍵可循環(huán)選擇需要手動(dòng)校準(zhǔn)的規(guī)管，選中規(guī)管相應(yīng)顯示窗口中的字符“ e”快速閃爍。

　　按設(shè)置上鍵、下鍵

　　改變選中規(guī)管測(cè)量值，當(dāng)該規(guī)管顯示窗口顯示“1.0e-1”，則表示該規(guī)管“0.1Pa”已校準(zhǔn)。停止按鍵5秒后退出校正。

　　◆“大氣”手動(dòng)校準(zhǔn)

　　按測(cè)試系統(tǒng)的工藝要求，對(duì)系統(tǒng)放入大氣，確保被校電阻規(guī)所測(cè)位置為大氣狀態(tài)，在大氣壓下工作約10分鐘。

　　“大氣”按鈕，重復(fù)按鍵可循環(huán)選擇需要手動(dòng)校準(zhǔn)的規(guī)管，相應(yīng)選中規(guī)管相應(yīng)顯示窗口中的字符“ e”快速閃爍。

　　按設(shè)置上鍵、下鍵

　　改變選中規(guī)管測(cè)量值，當(dāng)該規(guī)管顯示窗口顯示“1.0e 5”或“hhe 5”(大氣狀態(tài))，表示該規(guī)管“大氣”已校準(zhǔn)。停止按鍵5秒后退出校準(zhǔn)。

　　◆ 本設(shè)計(jì)電路采取了特殊處理，在正常情況下“0.1Pa”和“大氣”只需校準(zhǔn)一次，以后測(cè)量不必再校準(zhǔn)。在儀器使用一段時(shí)間后，若“0.1Pa”和“大氣”有變化，可用上述方法重新校準(zhǔn)一次。

　　◆ 特別注意：儀器在大氣狀態(tài)時(shí)，有一定的變化或漂移，一般顯示1.0E4～1.0E5或HHE5 均為正常，可不進(jìn)行“大氣”校準(zhǔn)。

　　4、電阻規(guī)的錯(cuò)誤提示

　　開機(jī)后若在窗口顯示“―――――”，表示電阻規(guī)斷絲或跟儀器未連接好，應(yīng)仔細(xì)檢查，排除儀器故障所在。

　　(二)電離計(jì)單元操作：

　　◆ 連續(xù)測(cè)量工作過(guò)程如下：

　　(1) 將電阻規(guī)與電離規(guī)安裝在同一系統(tǒng)內(nèi)。

　　(2) 開機(jī)顯示00000(右窗口)，自動(dòng)LED點(diǎn)亮。

　　(3) 開機(jī)5秒后進(jìn)入電阻規(guī)測(cè)量，當(dāng)電阻規(guī)1所測(cè)得真空度大于1Pa時(shí)，將自動(dòng)開啟電離規(guī)，進(jìn)入電離測(cè)量顯示;當(dāng)真空度小于10Pa時(shí)，自動(dòng)關(guān)閉電離規(guī)，進(jìn)入電阻規(guī)的測(cè)量。

　　◆ 手動(dòng)測(cè)量工作過(guò)程如下：

　　(1) 將電阻規(guī)與電離規(guī)安裝在同一系統(tǒng)內(nèi)。

　　(2) 開機(jī)顯示00000(右窗口)，自動(dòng)LED點(diǎn)亮。

　　(3) 開機(jī)5秒內(nèi)按下“自動(dòng)”按鈕，自動(dòng)LED滅，儀器進(jìn)入手動(dòng)測(cè)量，

　　(4) 開機(jī)5秒后進(jìn)入電阻規(guī)測(cè)量，按下“電離”進(jìn)入電離測(cè)量。

　　◆ 若需在測(cè)量過(guò)程中檢查發(fā)射電流，按“mA/Pa”按鈕，此時(shí)mA燈亮，窗口內(nèi)顯示的是發(fā)射電流值。ZJ-27型規(guī)管發(fā)射電流值正常范圍應(yīng)在：

　　100uA時(shí)，0.0800～0.1200 mA

　　1mA時(shí)，0.8000～1.200 mA

　　若在測(cè)量過(guò)程超出此值，顯示出現(xiàn)“―――――”此時(shí)應(yīng)檢查真空度是否過(guò)低或更換規(guī)管后再重新測(cè)量。

　　◆ 若機(jī)器內(nèi)無(wú)電阻規(guī)插件板或電阻規(guī)損壞，由于開機(jī)后電離處于自動(dòng)方式，不管真空度多高，電離規(guī)始終不能打開，這時(shí)按“自動(dòng)”按鈕，關(guān)閉自動(dòng)，自動(dòng)按鈕的LED滅。這時(shí)按“電離”按鈕，“開”燈亮，電離規(guī)管工作，可以檢測(cè)真空度和發(fā)射電流。

　　注意：若此時(shí)真空度未達(dá)到10Pa，將影響電離規(guī)管的壽命，若在大氣時(shí)，將會(huì)使電離規(guī)管很快損壞，故使用手動(dòng)開關(guān)電離應(yīng)特別小心。

　　◆ ZJ27型規(guī)管當(dāng)真空度大于1×10-2Pa時(shí)，可對(duì)電離規(guī)管去氣。按“去氣”按鈕，去氣開始，電離顯示單元顯示去氣時(shí)間，數(shù)碼管后兩位顯示秒，前三位顯示分。若需中止去氣，則按下“電離”按鈕，此時(shí)重新進(jìn)入測(cè)量過(guò)程。

　　◆ 當(dāng)真空度小于1×101Pa時(shí)，儀器進(jìn)入保護(hù)狀態(tài)，規(guī)管燈絲被切斷，儀器顯示“00000”;當(dāng)真空度恢復(fù)到大于1Pa時(shí)，重新進(jìn)入電離測(cè)量狀態(tài)。

　　(三)壓強(qiáng)控制單元操作

　　n 本電磁閥為精密結(jié)構(gòu)，出廠時(shí)已調(diào)試好，使用時(shí)不需作調(diào)整。

　　n 應(yīng)避免大的振動(dòng)和平行于閥桿的強(qiáng)磁場(chǎng)，以免影響閥的整體性能。一般不宜做截止閥用。

　　n 本閥入口氣體壓力須降壓后送入，一般為0.1~0.2Mpa。使用氣體須經(jīng)過(guò)凈化無(wú)塵。

　　n 使用前將a)閥出口與真空系統(tǒng)妥善密封連接(注：規(guī)管與閥不宜靠得太近)，b)閥入口與降壓后得氣源連接，c)閥電纜與儀器連接，應(yīng)接觸良好。

　　1、設(shè)定壓強(qiáng)控制

　　在儀器面板***左邊的壓強(qiáng)控制單元進(jìn)行“壓強(qiáng)”和“響應(yīng)”設(shè)定。

　　◆開機(jī)后任何時(shí)候，按住壓強(qiáng)控制單元的“設(shè)定/查看”按鍵5秒，當(dāng)“壓強(qiáng)”LED閃爍，電阻單元/壓強(qiáng)設(shè)定窗口顯示所需要設(shè)定的壓強(qiáng)，按設(shè)置上鍵、下鍵

　　改變控制值，每按一次上鍵或下鍵則系數(shù)按0.1增減改變。設(shè)定范圍1×100～1×10-3Pa; 再按“設(shè)定/查看”按鍵，“響應(yīng)”LED亮，窗口顯示的所需要響應(yīng)速度控制值，按設(shè)置上鍵、下鍵

　　改變?cè)O(shè)定，設(shè)定范圍0～99。設(shè)定值越小，則響應(yīng)速度越小，穩(wěn)定時(shí)間越長(zhǎng);設(shè)定值越大，則響應(yīng)速度越快。 ◆在進(jìn)入穩(wěn)壓控制過(guò)程后(此時(shí)控制“開”燈亮)，可直接在壓控單元按“設(shè)定/查看”按鍵選擇“壓強(qiáng)”或“響應(yīng)”(相應(yīng)LED燈點(diǎn)亮)，然后按上鍵、下鍵

　　即可進(jìn)行壓強(qiáng)控制值或響應(yīng)值改變。

　　◆設(shè)定值具有掉電保護(hù)功能，下次開機(jī)為上次控制設(shè)置點(diǎn)。儀器進(jìn)入控制過(guò)程后，若需修改設(shè)定值，可按下“設(shè)定/查看”按鈕來(lái)進(jìn)行修改。

　　2、查看壓強(qiáng)控制

　　在壓強(qiáng)控制單元按“設(shè)定/查看”，“壓強(qiáng)”LED燈亮，設(shè)定的壓強(qiáng)控制值和響應(yīng)值顯示在左邊電阻單元/壓強(qiáng)設(shè)定窗口，右窗口顯示當(dāng)前系統(tǒng)真實(shí)壓強(qiáng)。

　　3、控制開啟、關(guān)閉

　　◆ 控制開啟：在壓強(qiáng)控制單元按“控制”微動(dòng)開關(guān)，“開”燈亮，打開壓強(qiáng)控制。儀器進(jìn)入控制過(guò)程后，自動(dòng)跟蹤監(jiān)控充氣過(guò)程，自動(dòng)調(diào)節(jié)比例電磁閥閥，使系統(tǒng)在幾秒或幾十秒穩(wěn)定到設(shè)定值。

　　◆ 控制關(guān)閉：在壓強(qiáng)控制單元再按“控制”按鍵，“開”燈滅，“關(guān)”燈亮，比例電磁閥關(guān)閉，停止充氣，儀器退出控制進(jìn)入測(cè)量狀態(tài)。

　　在自動(dòng)狀態(tài)時(shí)，若系統(tǒng)真空度無(wú)變化或不穩(wěn)定，一般由下面原因所致：

　　n 控制閥電纜未連接或錯(cuò)誤連接或斷線

　　n 進(jìn)入氣源未打開或未接氣源

　　n 真空度變化小，說(shuō)明有少量進(jìn)氣，原因是進(jìn)氣壓太小，氣體管路堵塞或系統(tǒng)抽速過(guò)大。

　　n 自動(dòng)控制進(jìn)氣，若系統(tǒng)真空度在設(shè)定值左右變化，這時(shí)可改變時(shí)間響應(yīng)的設(shè)置，使真空度穩(wěn)定為止，一般是：

　　(1) 當(dāng)真空度變化幅度較大時(shí)，可減小“響應(yīng)”(注：響應(yīng)速度越小，則穩(wěn)定時(shí)間越長(zhǎng))，在不影響穩(wěn)定精度的前提下，一般選擇較大的“響應(yīng)速度”，加快穩(wěn)定時(shí)間。

　　(2) 對(duì)于固定的系統(tǒng)，一旦調(diào)準(zhǔn)后，通常在相同的條件下工作，無(wú)需重新調(diào)節(jié)。因此，******次使用是十分重要的工作，一定要耐心認(rèn)真的調(diào)試。

　　(3) 若反復(fù)調(diào)整后，仍不能穩(wěn)定，特別是在控制真空度較低時(shí)，如低于1×10-1Pa 時(shí)，有些系統(tǒng)抽速發(fā)生變化或不穩(wěn)定，此時(shí)可適當(dāng)關(guān)小主閥。

　　(四)控制單元操作

　　◆ 在真空過(guò)程中可進(jìn)行定點(diǎn)或區(qū)域控制?？刂泣c(diǎn)可在開機(jī)5秒內(nèi)或開機(jī)后的任何時(shí)刻進(jìn)行設(shè)置和查看，具有掉電保護(hù)功能，下次開機(jī)為上次控制設(shè)置點(diǎn)。

　　◆ 六路控制繼電器輸出，每路控制可任意設(shè)定由電阻計(jì)或電離計(jì)控制輸出。

　　◆ 儀器前面板J1～J6燈分別顯示繼電器輸出狀態(tài)。

　　區(qū)域控制過(guò)程為：

　　(1) 開機(jī)前，繼電器為常態(tài)，一組常開，一組常閉，控點(diǎn)燈滅;

　　(2) 開機(jī)后，當(dāng)真空度高于設(shè)定點(diǎn)下限，低于設(shè)定點(diǎn)上限時(shí)，繼電器為常態(tài)，控點(diǎn)燈慢速閃亮;

　　(3) 當(dāng)真空度高于設(shè)定點(diǎn)上限時(shí)，繼電器起控，(常開變?yōu)槌ｉ]，常閉變?yōu)槌ｉ_)，同時(shí)對(duì)應(yīng)的控點(diǎn)燈亮;

　　(4) 當(dāng)真空度低于設(shè)定點(diǎn)上限，高于設(shè)定點(diǎn)下限時(shí)，繼電器狀態(tài)不變，控點(diǎn)燈快速閃亮;

　　★ 當(dāng)真空度低于設(shè)定點(diǎn)上限，高于設(shè)定點(diǎn)下限時(shí)：

　　繼電器未起控時(shí)控點(diǎn)燈慢速閃亮;

　　繼電器已起控時(shí)控點(diǎn)燈快速閃亮

　　(5) 當(dāng)真空度低于下限時(shí)，繼電器恢復(fù)常態(tài)，控點(diǎn)燈滅。

　　◆ 操作方法

　　(1) 進(jìn)入設(shè)定狀態(tài)

　　按下“設(shè)置/查看”按鈕不放，2秒后J1燈發(fā)亮，進(jìn)入查看狀態(tài);

　　繼續(xù)按住該鍵不放，5秒后，J1燈閃爍，儀器進(jìn)入設(shè)置狀態(tài)。

　　如下圖，左上窗口顯示設(shè)定(查看)控點(diǎn)的序號(hào)和控制規(guī)管序號(hào);右邊窗口顯示控點(diǎn)的上或下限控制值，以“h”開頭表示設(shè)定上限，以“l”開頭表示設(shè)定下限。

　　(2) 選擇設(shè)定項(xiàng)目

　　在設(shè)置狀態(tài)重復(fù)按“設(shè)置/查看”鍵，選中的項(xiàng)目閃爍顯示。儀器循環(huán)選擇3個(gè)項(xiàng)目設(shè)定：

　　控點(diǎn)序號(hào)→控制規(guī)管→控點(diǎn)值→控點(diǎn)序號(hào)……

　　如選定設(shè)置控點(diǎn)，則控點(diǎn)序號(hào)所在左******位數(shù)碼管閃爍;

　　選定設(shè)置控點(diǎn)值，則控點(diǎn)值所在右邊******位“h”或“l” 閃爍。

　　(3) 改變?cè)O(shè)置

　　按上鍵、下鍵

　　改變相應(yīng)設(shè)置項(xiàng)的數(shù)值。

　　控點(diǎn)序號(hào)項(xiàng)可設(shè)6路控點(diǎn)的上、下限：

　　1 h、1 l、2 h、2 l……6 h、6 l

　　控制規(guī)管項(xiàng)可設(shè)3路測(cè)量規(guī)管：Rr-1、r-2、1-1

　　(其中r-1是指電阻規(guī)1，r-2是指電阻規(guī)2，1-1是指電離規(guī))

　　控點(diǎn)值項(xiàng)的設(shè)定范圍根據(jù)該控點(diǎn)的控制規(guī)管而定。

　　ZJ52T型規(guī)管：1.0×105～1.0×10-1Pa

　　ZJ27型規(guī)管： 1.0×100～1×10-5Pa

　　(4) 退出設(shè)置

　　在設(shè)置狀態(tài)若5秒無(wú)按鍵按下，自動(dòng)保存各個(gè)控點(diǎn)設(shè)置并回到測(cè)量狀態(tài)顯示，進(jìn)行真空測(cè)量及控制。

　　(5) 查看設(shè)置

　　開機(jī)后的任何時(shí)間內(nèi)查看先前控點(diǎn)的設(shè)置，

　　A、按下“設(shè)定/查看”按鈕2秒，J1燈發(fā)亮，進(jìn)入查看狀態(tài)，窗口顯示查看控點(diǎn)的序號(hào)、控制規(guī)管和上限設(shè)置值，

　　B、按上鍵、下鍵

　　改變查看控點(diǎn)序號(hào)，相應(yīng)控點(diǎn)燈被點(diǎn)亮;

　　C、顯示上限值5秒后顯示下限值;5秒后自動(dòng)退出顯示進(jìn)入測(cè)量。

　　(6) 控點(diǎn)的設(shè)置和控點(diǎn)查看在開機(jī)后任何時(shí)刻都可進(jìn)行，按“設(shè)定/查看”鍵約2秒鐘為設(shè)定查看，按“設(shè)定/查看”鍵約5秒鐘為控點(diǎn)設(shè)置。此種設(shè)置方式極為方便，克服了以往真空計(jì)在測(cè)量過(guò)程中調(diào)整控點(diǎn)控制時(shí)必須開關(guān)儀器的麻煩。

　　◆ 設(shè)定舉例

　　例一：在真空系統(tǒng)中，控點(diǎn)1需由電阻規(guī)1控制在3Pa上發(fā)一控制信號(hào)，在真空度低于20Pa時(shí)關(guān)閉此信號(hào)。即需設(shè)定上限為3Pa，下限為20Pa，操作過(guò)程為：

　　(1) 按下“設(shè)置/查看”按鈕不放，2秒后J1燈發(fā)亮，繼續(xù)按住該鍵不放，5秒后，J1燈閃爍，儀器進(jìn)入設(shè)置狀態(tài)，窗口由真空測(cè)量顯示轉(zhuǎn)變?yōu)樵O(shè)定顯示。當(dāng)需設(shè)定J1上限，則J1燈點(diǎn)亮，同時(shí)右邊顯示窗以“h” 顯示;

　　(2) 在設(shè)置狀態(tài)重復(fù)按“設(shè)置/查看”鍵，儀器循環(huán)選擇設(shè)定“控點(diǎn)值”，當(dāng)右邊顯示窗“h” 顯示閃爍時(shí)表示可以進(jìn)行J1的上限的設(shè)定;

　　(3) 按上鍵、下鍵

　　改變控制值，顯示窗顯示“h3.0 0”時(shí)，J1上限的設(shè)定完成;當(dāng)設(shè)置上限時(shí)：

  按上鍵 顯示變化從→H3.0 0(上限)……→H2.0 1(下限)→H0.0 0→H1.0-1……→H2.00→ 按下鍵  

　　顯示變化從←H3.0 0(上限)……←H2.0 1(下限)←H0.0 0←H1.0E-1……←H2.0 0←

 

　　(4) 接下來(lái)進(jìn)行控點(diǎn)下限的設(shè)定，按“設(shè)置/查看”鍵，選擇設(shè)定“控點(diǎn)序號(hào)”，當(dāng)需設(shè)定J1下限，則J1燈點(diǎn)亮，同時(shí)右邊顯示窗以“l” 顯示;

　　(5) 在設(shè)置狀態(tài)重復(fù)按“設(shè)置/查看”鍵，選擇設(shè)定“控點(diǎn)值” ，當(dāng)右邊顯示窗“l” 顯示閃爍時(shí)表示可以進(jìn)行J1的下限的設(shè)定;

　　(6) 按上鍵

 

　　、下鍵

 

　　改變控制值，顯示窗顯示“l2.0 1”時(shí)，J1下限的設(shè)定完成。當(dāng)設(shè)置下限時(shí)：

 

　　按上鍵

　　顯示變化從→L2.0 1(下限)……→L1.0 5→L0.0 0→L3.0 0(上限)……→L1.0 1→

     

　　顯示變化從←L2.0 1(下限)……←L1.0 5←L0.0 0←L3.0 0(上限)……←L1.0 1←

 

　　注：設(shè)置顯示為0.0 0時(shí)，相應(yīng)控點(diǎn)關(guān)閉。

　　(7) 真空控制時(shí)序如下：

　　例二：關(guān)閉控點(diǎn)

　　用上述方法，把上限控制點(diǎn)設(shè)置成顯示為0.0E 0，相應(yīng)控點(diǎn)被關(guān)斷。

　　例三：點(diǎn)控設(shè)定

　　不設(shè)下限(設(shè)置成顯示為0.0E 0)，只設(shè)上限，則上限作為控點(diǎn)，下限不起作用。

　　(五)模擬輸出

　　可選配件。用戶根據(jù)需要選擇電壓0～10V或電流4～20mA的模擬輸出(只能選其中一組)。

　　本儀器D/A采用12bit精度。其輸出與真空度對(duì)應(yīng)關(guān)系如下圖所示。

　　(六)外部控制

　　1、電離外控

　　通過(guò)儀器背面的外控接頭，可實(shí)現(xiàn)外部信號(hào)控制關(guān)閉電離單元的測(cè)量。

　　當(dāng)外部控制觸點(diǎn)在常閉狀態(tài)，關(guān)閉電離單元測(cè)量及其控點(diǎn)輸出;

　　當(dāng)外部控制觸點(diǎn)在常開狀態(tài)，恢復(fù)電離單元先前的測(cè)量模式。

　　2、壓強(qiáng)外控

　　通過(guò)儀器背面的外控接頭，可實(shí)現(xiàn)外部信號(hào)控制開啟壓強(qiáng)控制。

　　當(dāng)外部控制觸點(diǎn)在常閉狀態(tài)，開啟壓強(qiáng)控制;

　　當(dāng)外部控制觸點(diǎn)在常開狀態(tài)，恢復(fù)先前的模式。

　　(七)RS232通訊接口(可選配RS485)

　　接口電平符合RS232C標(biāo)準(zhǔn)中的規(guī)定。通過(guò)RS232通訊接口，可實(shí)現(xiàn)傳送測(cè)量數(shù)據(jù)和儀器情況以及設(shè)定儀器參數(shù)。

　　可選RS485接口(1腳A,2腳B), 接口電平符合RS485C標(biāo)準(zhǔn)中的規(guī)定。

　　通訊參數(shù)設(shè)定：同時(shí)按下上鍵

 

　　、下鍵

 

　　，并持續(xù)按5秒后進(jìn)入通訊參數(shù)設(shè)置狀態(tài)，按“設(shè)置/查看”鍵，儀器循環(huán)選擇設(shè)定項(xiàng)目，然后根據(jù)需要按上鍵

 

　　、下鍵

 

改變值。設(shè)置完5秒后自動(dòng)退出。設(shè)定項(xiàng)目如下：

窗口顯示	設(shè)置參數(shù)	設(shè)定范圍	出廠值	備注
1.  000	通訊地址值	0～31（XingNanYi協(xié)議） 0～255（Modbus協(xié)議）	0
2.   00	通訊波特率	0：9600 bps 1：19200 bps 2：38400 bps 3：57600 bps 4：115200bps	0
3.   00	通訊協(xié)議	0：XingNanYi協(xié)議 1：Modbus RTU協(xié)議	0
4.   00	通訊數(shù)據(jù)格式	0：8位數(shù)據(jù)，無(wú)效驗(yàn)，1位停止位 1：8位數(shù)據(jù)，偶效驗(yàn)，1位停止位 2：8位數(shù)據(jù)，奇效驗(yàn)，1位停止位	0

　　六.注意事項(xiàng)

　　儀器具有去氣自鎖功能，電離規(guī)ZJ27在真空度低于1.0E-2Pa時(shí)，儀器不給規(guī)管去氣。

　　規(guī)管應(yīng)盡量******垂直安裝。

　　電阻規(guī)ZJ52T在105Pa附近有漂移，在103Pa以后有較好的測(cè)量******度。

　　電離規(guī)ZJ27在10-6Pa時(shí)僅作參考。

　　所配規(guī)管只能測(cè)量干燥空氣和氮?dú)?，其他氣體成分比例較大的場(chǎng)合需另外修正。

　　七.裝箱清單

1	XNYGF－IIIK真空測(cè)量控制儀	1臺(tái)
2	ZJ－27 規(guī)管	1只
3	ZJ－52T規(guī)管	2只
4	規(guī)管電纜	3根
5	收集極電纜	1根
6	電磁調(diào)節(jié)閥	1只
7	電磁調(diào)節(jié)閥電纜	1根
8	電源線	1根
9	使用說(shuō)明書	1份
10	合格證	1份

　　另：電纜長(zhǎng)度可定制